少子壽命測試儀µPCD/MDP (MDPpro 850+)用于單晶硅錠、硅磚和硅晶圓片的生產和質量監控。用于HJT、HIT、TOPcon、雙面PERC、PERC+太陽能電池、鈣鈦礦等中的硅材料。
MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量儀被設計成一個緊湊的臺式非接觸電學表征工具,用于離線生產控制或研發,在穩態或短脈沖激勵(μ-PCD)下,在一個寬的注入范圍內測量參數,如載流子壽命、光導率、電阻率和缺陷信息。自動化的樣品識別和參數設置允許輕松適應各種不同的樣品,包括外延層和經過不同制備階段的晶圓,從原生晶圓到高達95%的金屬化晶圓。
MDPlinescan在線少子壽命測試儀靈活的OEM少子壽命測試儀器,用于各種不同樣品的少子壽命測量,從單晶硅磚到多晶硅磚,從生長的硅片到不同層或金屬化的硅片的過程控制。標準的軟件接口,便于連接到許多處理或自動化系統。
MDPspot少子壽命測試儀低成本桌面單點測量硅片或晶磚,用于在不同制備階段表征各種不同的硅樣品,無需內置自動化??蛇x手動操作的z軸厚度高達156毫米的硅磚樣品,高達156毫米硅磚,結果可視化的標準軟件。
弗萊貝格的MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命)系列主要用于測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等,其非接觸式檢測和無損成像(μPCD /MDP(QSS))的設計*符合SEMI標準PV9-1110。這也使得該儀器在晶圓切割、爐內監控和材料優化等領域被廣泛應用??梢哉f,MDPpro是晶錠生產商以及晶體爐技術生產商d的標準儀器。
MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試)是一個緊湊的離線臺式檢測設備,主要被設計用于生產控制或研發、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數。其工作狀態為穩態或短脈沖激勵下(μ-PCD)。
德國弗萊貝格MDPinlinescan(MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀)是一款靈活的OEM設備,可以用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶到多晶硅錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。配置標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動化系統。
MDPinline(MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測)是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內,就可以“動態”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構,有效提高了生產線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。
德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot(MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試)系統是快速多晶硅晶錠電學參數特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命,光電導率,電阻率)都可以同時進行測量。
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