MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀

?公司簡介

Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業大學。
初致力于開發一系列快速、無損的電氣特性測試工具，用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產品經驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產品。
Freiberg Instruments是一家發展迅速，充滿活力，專業又具有創新的的分析儀器公司，產品廣泛應用于劑量學、
醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。 

?產品介紹

德國弗萊貝格MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀）是一款靈活的OEM設備，可以用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶到多晶硅錠，從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。

MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀）配置標準軟件接口，易于連接到許多處理或自動化系統。

 --各種不同的樣品，從單晶硅到多晶硅，從生長的晶片到加工過的晶片，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進行檢測。

 --MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。

 --樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測，每個晶圓的測量速度小于一秒。

 --該儀器有許多專門應用可能性。由于其易于集成，只需要以太網連接和電源即可。例如，電池生產線上的來料質量檢查是其常用的一種應用方向，同樣，鈍化和擴散后的工藝質量檢查也能用到此款產品。

?特性

 --允許單片調查

 --配方的基礎測量

 --監控材料質量、工藝的完整性和穩定性

?優勢

 --在µ-PCD或穩態激發條件下測量少數載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。

 --用于集成在生產線的多晶或單晶硅晶圓,包括材料制備，和各種工藝處理階段。

 --小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。優勢是長時間的可靠性和測量結果的高精度。

?技術參數