MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命

?公司簡介

 --Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業大學。初致力于開發一系列快速、無損的電氣特性測試工具，用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
 --2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產品經驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產品。
 --Freiberg Instruments是一家發展迅速，充滿活力，專業又具有創新的的分析儀器公司，產品廣泛應用于劑量學、醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。 

?產品介紹

 --弗萊貝格的MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命）系列主要用于測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等，其非接觸式檢測和無損成像（μPCD /MDP(QSS)）的設計*符合SEMI標準PV9-1110。

 --這也使得該儀器在晶圓切割、爐內監控和材料優化以及常規質量控制、精密材料研發的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量等領域被廣泛應用?？梢哉f，MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命）算得上是晶錠生產商以及晶體爐技術生產商d的標準儀器。

?特性&優勢:

 --無接觸和無破壞的半導體檢測；

 --特殊“underneath the surface”壽命測量技術；

 --對不可見缺陷的可視化測試具有很高靈敏度；

 --自動設置硅錠切割標準；

 --空間分辨p/n電導型變換檢測；

 --多項數據同時自動檢測掃描，5幅測量圖形同時繪制；

 --堅固耐用的設計和易于設置的性能。安裝，僅需要電源。

?應用實例

-1.日常壽命測量，質量控制和檢驗

 --產量：>240塊/天或>720片/天
 --測量速度：對于156x156x400mm標準晶錠，<4分鐘
 --良品率提升：1mm切割標準為156x156x400mm標準晶錠
 --質量控制：用于過程和材料的質量監控，如單晶硅或多晶硅
 --沾污檢測：起源于坩堝和生產設備的金屬(Fe)
 --可靠性：模塊化和堅固耐用的工業儀器，更高可靠性，運行時間> 99%
 --可重復性:> 99.5%
 --電阻率：可做面掃描，不需經常校準

-2. 精密材料研發

 --a.鐵濃度測定
 --b.陷阱濃度測定
 --c.硼氧測定
 --d.依賴于注入的測量等