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MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試

  • 更新時間:  2024-03-04
  • 產品型號:  Freiberg--MDPinline ingot
  • 簡單描述
  • 德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot(MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試)系統是快速多晶硅晶錠電學參數特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命,光電導率,電阻率)都可以同時進行測量。
詳細介紹

?產品介紹

德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot(MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試)系統是快速多晶硅晶錠電學參數特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命,光電導率,電阻率)都可以同時進行測量。

MDPinline ingot(MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試)系統包括一個數據庫和相關的統計數據評估,可自動確定準確的切割位置,以提高成品率。主要用于材料質量監控,爐選擇和工藝改進。

 

 

 

?性能

 --無接觸、無破壞的半導體特性

 --少數載流子壽命的檢測能力

 --先進的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化

 --自動切割標準定義

 --獲取體材料性質的穩態測量

 --*自動化的內聯集成

 --對太陽能級硅錠進行掃描,1mm分辨率

 --測量時間:1分鐘內完成晶錠的面掃描,可自動測量所有4個面

 

Automated determination of cut off criteria

 

?優勢

 --保持著先進光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測的世界記錄。

 --在1分鐘內完成分辨率大于1mm成像掃描測試,同時可完成電導類型轉變的空間分布掃描和電阻率的

 --線掃描測試??蛻舳x的切割標準可以傳輸到晶圓廠數據庫,該數據庫允許對下一代光伏晶圓廠進行*自動化的材料監控。

 --對爐料進行質量控制和爐況監測,并進行失效分析。特殊的“underneath the surface”測量技術大大減少了表面重組造成的數據失真。

 

?技術參數


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