MDP少子壽命測試儀 | 鐵濃度測定

有了MDPingot和MDPmap系列，就可以全自動地測量磚塊和硅片中的鐵濃度，而且分辨率非常高。鐵硼對解離前后的壽命測量是一種**使用的測定硅片中鐵的方法。在高摻雜濃度的摻硼硅中，因為它被用于光伏應用，幾乎100%的電活性鐵以FeB對的形式存在。在有足夠能量的光照下，這些鐵對可以在Fe和B中解離。這個過程是可逆的，在一段時間后，所有的FeB對都會再次結合。FeB和Fei有不同的重組特性，因此解離對測量的壽命有影響。在這種影響下，鐵的濃度可以通過以下方式確定：

對于鐵的測定，使用了一個校準系數C，它取決于注入、摻雜濃度和陷阱濃度，這在多晶硅中必須加以考慮。通過MDP，可以對多晶硅和單晶硅進行高分辨率的鐵濃度測定，并且由于模擬和多年的研究，還具有很高的精度。

照明前的壽命圖和產生的鐵圖

關于鐵的測定和校準系數的依賴性的更多信息，請閱讀：

[1] S. Rein and S. W. Glunz, Journal of Applied Physics 98 (2005).

[2] N.Schüler, T.Hahn, K. Dornich, J.R. Niklas, Solid State phenomena to be published

陷阱濃度測定的工具