微焦點CT-半導體元器件X射線顯微成像系統是一種基于X射線的成像技術，使用微型計算機斷層掃描技術（Micro Computed Tomography）。包括掃描和重構兩個主要部分，Micro/Nano 表明其分辨率可達到微米/亞微米級別。