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晶圓x射線晶體定向儀分揀系統Wafer XRD

  • 更新時間:  2024-03-04
  • 產品型號:  Wafer XRD-200
  • 簡單描述
  • 晶圓x射線晶體定向儀分揀系統Wafer XRD用于全自動分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測定等。Si | SiC | AlN | 藍寶石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
詳細介紹

晶圓x射線晶體定向儀分揀系統Wafer XRD的特點

◇  自動化的晶圓處理和分類系統(例如:盒到盒)。

◇  晶體取向和電阻率測量 

◇  晶片的幾何特征(缺口位置、缺口深度、缺口開口角度、直徑、平面位置和平面長度)的光學測定 

◇  未拋光的晶圓和鏡面的距離測量 

◇  MES和/或SECS/GEM接口

晶圓x射線晶體定向儀分揀系統Wafer XRD的Omega-scan方法:

◇  高的精度 

◇  測量速度: < 5秒/樣品 

◇  易于集成到工藝線中 

◇  典型的標準偏差傾斜度(例如:Si 100):   < 0.003 °,小于< 0.001 °。

 


全自動化的晶圓分揀和處理系統


Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
主要里程碑:        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞瑟·布拉達切克和他的兒子漢斯·布拉達切克創立。

◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測計數裝置,名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發 Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統 -    振蕩器產量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉移到其他材料,如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金

◆  2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM ) 

全球售出 約 150臺石英分選系統

◆  2015 - X 射線技術和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH        


傳承60年德國工匠精神-三代X射線工程師        

    



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