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小晶體樣品臺式X射線單晶定向儀

  • 更新時間:  2024-03-04
  • 產品型號:  弗萊貝格--SDCOM
  • 簡單描述
  • 德國弗萊貝格SDCOM--小晶體樣品臺式X射線單晶定向儀能夠測量小至1mm的晶體到或更大的樣品,精度可達0.01°(視晶體質量而定),其主要應用omega掃描方法對樣品進行超高速的晶體定位測量,配置了氣冷式X射線管,操作過程無需水冷,適用于科學研究以及生產質量控制。
詳細介紹

 

?技術特點

 --能夠測量小至1mm的晶體到或更大的樣品

 --各種樣品架及輸送夾具,用于線鋸、拋光等

 --側晶方向標記選項

 --SDCOM小晶體樣品臺式X射線單晶定向儀無水冷卻

 --精可達0.01°(視晶體質量而定)

 --確定單晶的*晶格取向

 --使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測量

 --氣冷式X射線管,無需水冷

 --適合于研究和生產質量控制

 --手動操作(沒有自動化選項)

 

晶體的方向是由反射位置決定的

 

?SDCOM可測材料

 --立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP 

 --立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

 --正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4

 --六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(藍寶石),GaPO4, La3Ga5SiO14

 --斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3

 --可根據客戶的要求進一步選料 

適合多種材料

 

?行業應用
 

平面方向的標記和測量

 --在晶圓片的注入和光刻過程中,需要平面或凹槽作為定位標記。切割過程中,晶片必須正確地對準晶圓片上易于切割的晶格面。因此,檢查平面或缺口的位置至關重要。

 --為了確定平面或缺口的位置,就需要測量平面內的部件。由于Omega掃描法可以在一次測量中確定完整的晶體方位,基于此,便可以直接識別在平面方向或檢查方向的單位或缺口。

 --SDCOM小晶體樣品臺式X射線單晶定向儀通過旋轉轉盤,可以將任何平面方向轉換成用戶的特定位置。在必須定義平面方向的情況下,這可以大大簡化將標記應用到特定平面方向的過程。


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