X射線衍射儀-單晶硅定向儀

弗萊貝格Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀能提供自動的晶格定位和樣品校準的在線解決方案，我們專注于超高速和準確的 Omega掃描方法，可在幾秒鐘內確定完整的晶體取向?？商砑佣S(X-Y)或三維掃描，全自動化的搖擺曲線測量，使得XRD單晶定向儀成為單晶制造商質量控制環節中一個重要組成部分。

?應用范圍

作為快速、簡單、可靠的X射線單晶定向儀，弗萊貝格Omega/Theta Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀被廣泛應用于工業生產的質量控制、材料研發等領域，主要用于超高速晶體定向和搖擺曲線的測量。

?應用技術

• 可用于生產的立式XRD
• 轉移技術：可高效率進行多個鑄錠同時定向（堆疊）
• 同時測定（Si、Ge、BBO、YAG、SiC、GaN、藍寶石、渦輪葉片等200多種晶體材料）幾乎所有晶體方向取向。
• 快速測量晶體取向，測量時間僅需5秒，精度：0.003°
• 自動晶片分類和處理
• 搖擺曲線測量和3Dmapping繪圖 、晶圓表面翹曲度偏差檢測
• 整塊晶圓和渦輪葉片晶體取向mapping 
• 設備操作簡單、快捷、方便，適用于各研究機構和全自動化生產線

?應用實例

案例1：

藍寶石取向 mapping、搖擺曲線測量：窄反射峰=表面質量好

案例2：

SiC 取向 mapping、搖擺曲線測量：寬反射峰=晶體表面局部干擾

案例3：

碳化硅晶圓檢測案例——晶體取向mapping

1.總傾斜偏差mapping

2.表面傾斜偏差mapping

3.垂直方向傾斜偏差mapping

4.水平傾斜偏差mapping

5.搖擺曲線mapping