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MDPlinescan

  • 更新時間:  2024-03-04
  • 產品型號:  
  • 簡單描述
  • 靈活的OEM設備,用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動化系統。
詳細介紹

應用范圍:靈活的OEM設備,用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動化系統。

在線面掃和單點檢測

MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元,可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測,每個晶圓的測量速度小于一秒。
電池生產線上的來料質量檢查是用的一種應用方向,同樣,鈍化和擴散后的工藝質量檢查也能用到此款產品。

 

 

還有許多其他的專門應用可能性。由于其易于集成,只需要以太網連接和電源。                                                              
  

特性

允許單片調查
配方的基礎測量
監控材料質量、工藝的完整性和穩定性

優勢
在μ-PCD或穩態激發條件下測量少數載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。
用于集成在生產線的多晶或單晶硅晶圓在不同的準備階段,直到設備,磚或錠。
小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。重點是長時間的可靠性和測量結果的精度。

 

技術參數

樣品

多晶或單晶晶圓原料, 晶錠,晶胞

樣品尺寸

大約50 x 50 mm2

電阻率

0.2 - 103 Ohm cm

conduction type

p, n

材質

硅晶圓,部分或*加工的晶圓,復合半導體等

測量屬性

載流子壽命

硬件接口

ethernet

大小

174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg

電源

24 V DC, 2 A

 


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